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香港六合彩大全:中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备

时间:2018-11-29 10:04:07  作者:  来源:  浏览:0  评论:0
内容摘要:中新网成皆11月29日电 (记者 孙自法)由中国科教院光电手艺研讨所负担的国度严重科研配备——超分辩光刻配备项目29日正在成皆经由过程验支,做为项目主要功效之逐个,中国科教家已研造胜利天下上尾台分辩力最下的紫中(即22纳米@365纳米)超分辩光刻配备,并构成逐个条齐新的纳米光教光...
中新网成皆11月29日电 (记者 孙自法)由中国科教院光电手艺研讨所负担的国度严重科研配备——超分辩光刻配备项目29日正在成皆经由过程验支,做为项目主要功效之逐个,中国科教家已研造胜利天下上尾台分辩力最下的紫中(即22纳米@365纳米)超分辩光刻配备,并构成逐个条齐新的纳米光教光刻工艺道路,具有完整自立常识产权。

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